靈活的安裝姿勢 ■ 緊湊的尺寸 ■ 節能 ■ 快速啟動和停止 ■ 維修電話 ■ 低振動 ■ 免調音 ■ 自動校準 ■ 轉速控制 ■ 大流量排氣 ■ 各種通信規格 ■符合安全標準 NRTL/SEMI-S2/CE 用 ?半導體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?分析、檢測設備 ?管材、光學元件的制造 ?加速器、放射線設施、聚變研究 ?熱處理 ?研發

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