一、第一步：明確三大基礎工藝需求

1. 確定目標真空度

• 普通脫泡、烘干、負載鎖腔體：幾十 Pa 區間，標準通用機型即可；

• 鍍膜、半導體腔體、無氧熱處理：要求達到 1Pa 左右高真空，優先選用高規格干泵；

注意：工藝實際工作壓力才是選型依據，極限真空僅作參考。

2. 核算所需抽氣速率

3. 厘清被抽取氣體組分（選型重中之重）

• 潔凈干燥空氣、惰性氣體：標準基礎機型；

• 含有機溶劑、水汽：必須配套氮氣吹掃，優先考慮防腐版本；

• 含粉塵、固體副產物、腐蝕性鹵化物氣體：強制選用耐蝕機型 + 前置過濾阻液裝置；

  介質預判失誤，會造成轉子腐蝕、沉積物卡泵，維修成本高。

二、荏原主流系列機型工況匹配

EV-S / EV-SA 小型風冷系列

ESA 中型多級羅茨系列

EST 螺桿干式真空泵

EV-M 重載耐蝕旗艦系列

三、冷卻方式如何選擇

1. 風冷機型（EV-SA/EV-S 小型）

   優勢：無需鋪設冷卻水管道，安裝靈活，改造項目優先；

   局限：大功率機型散熱有限，不適合 24 小時不間斷高溫、高負荷工況。
2. 水冷機型（ESA、EST、EV-M 大中型泵）

   優勢：散熱穩定，連續量產負載波動下溫度可控；極限真空性能更穩定；

   局限：需要配套循環冷卻水系統，增加現場管路施工。

四、防腐規格、功能配置選配要點

1. 標準機型 VS 防腐 N 型

   普通干燥潔凈氣體選用標準版；存在溶劑、微量腐蝕氣體，直接升級防腐 N 型號，腔體材質升級，避免長期緩慢腐蝕。

2. 氮氣吹掃系統

   含有機蒸汽、水汽的工藝屬于必選配置；通過持續稀釋，防止介質在泵腔內部冷凝沉積。

3. 通訊信號選配

   單機人工巡檢：基礎 4-20mA、繼電器報警足夠；

   自動化智能產線：選配數字通訊，支持 PLC 上位機遠程監控、故障告警、數據追溯。

4. 進氣預處理配套（極易被忽視）

   粉塵工況：前置粉塵過濾器；

   溶劑、液體飛沫：增設阻液罐、冷凝捕捉器；

   預處理不是可選配件，而是保護真空泵的第一道屏障。