FLUORO 福樂真空吸盤依托高純氟樹脂、導(dǎo)電 PEEK 等低析出材料,具備防靜電、耐強(qiáng)腐蝕、鏡面無痕吸附的特性,區(qū)別于普通工業(yè)吸盤,主打精密薄片、脆性工件的無塵無損拾取,廣泛應(yīng)用于制造多個(gè)領(lǐng)域,覆蓋干法無塵與濕法藥液加工工況。
半導(dǎo)體制造(核心應(yīng)用領(lǐng)域)
作為福樂吸盤最主要應(yīng)用行業(yè),適配 5/6/8/12 英寸硅晶圓、碳化硅、化合物半導(dǎo)體基板轉(zhuǎn)運(yùn)。可用于晶圓濕法清洗、蝕刻、顯影、去膠、鍍膜、劃片、封裝、檢測(cè)等工序。導(dǎo)電款有效疏導(dǎo)靜電,避免器件擊穿;PTFE 耐腐蝕款可耐受酸堿、有機(jī)溶劑,適配藥液浸泡工位,均勻分散負(fù)壓,防止超薄晶圓崩邊、表面光刻層劃傷,滿足百級(jí)、千級(jí)潔凈室規(guī)范。
光學(xué)與顯示行業(yè)
適用于超薄光學(xué)玻璃、石英基板、光學(xué)濾光片、鏡頭鏡片、藍(lán)寶石外延片、顯示面板薄片的取放組裝。吸盤接觸面經(jīng)過鏡面拋光,摩擦產(chǎn)塵量低,可保護(hù)鍍膜層不受劃痕損傷,廣泛用于光學(xué)鍍膜、鏡頭組裝、面板檢測(cè)、切割上下料等工序,解決薄片易碎裂、易污染的痛點(diǎn)。
光伏與新能源行業(yè)
用于光伏硅片、薄膜電池基板、陶瓷載板、柔性薄片等物料轉(zhuǎn)運(yùn)。針對(duì)薄型脆性硅片,依靠分布式負(fù)壓實(shí)現(xiàn)柔和吸附,避免壓裂工件;耐高溫材質(zhì)可適配部分熱處理前后的上下料操作,滿足新能源產(chǎn)線潔凈管控要求。
精密電子組裝
應(yīng)用于微型芯片、傳感器基片、PCB 薄片、微型元器件的手工拾取與對(duì)位裝配。防靜電材質(zhì)保護(hù)精密電子元件,模塊化吸盤可快速更換,適配實(shí)驗(yàn)室小批量研發(fā)與產(chǎn)線批量組裝,鐘表、相機(jī)微型零件裝配同樣適用。
生物醫(yī)藥與科研實(shí)驗(yàn)室
用于生物芯片、載玻片、特殊薄膜樣品、隱形眼鏡等輕薄樣品的無損轉(zhuǎn)移。材料離子析出極低,不會(huì)污染實(shí)驗(yàn)樣品,適配潔凈實(shí)驗(yàn)室、理化分析、生物檢測(cè)等場(chǎng)景;耐化學(xué)腐蝕特性,可配合各類實(shí)驗(yàn)試劑使用。