# 2024年新品發(fā)布會(huì)#

日期：2024年1月6日

時(shí)間：8：30-18：30

近期我司新推出升級(jí)了進(jìn)口供應(yīng)HORIBA堀場(chǎng)氣體濃度監(jiān)測(cè)儀IR-300

用于鼓泡供應(yīng)管線的在線氣體濃度監(jiān)測(cè)器。用于原料氣體的穩(wěn)定供應(yīng)。 MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）廣泛應(yīng)用于LED制造工藝和光學(xué)器件制造工藝中。該 MOCVD 設(shè)備采用液體/固體材料，通常使用鼓泡方法將其作為汽化氣體輸送到腔室。在該材料氣體供應(yīng)線路中，實(shí)時(shí)氣體濃度監(jiān)測(cè)對(duì)于實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的薄膜沉積過(guò)程非常重要。氣體濃度監(jiān)測(cè)儀IR-300系列已安裝在MOCVD設(shè)備的原料氣供應(yīng)線上，可實(shí)現(xiàn)在線高速氣體濃度監(jiān)測(cè)。支持原料氣體的穩(wěn)定供應(yīng)。　

實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)響應(yīng) 速度和重復(fù)性跟蹤氣體濃度變化 多種校準(zhǔn)曲線功能（可選） 最多可安裝 3 種測(cè)量氣體/滿量程濃度（=校準(zhǔn)曲線）。 多顯示器功能 配備多顯示器，將主機(jī)頂部的多顯示器與模式LED相結(jié)合，可現(xiàn)場(chǎng)檢查濃度監(jiān)測(cè)和供應(yīng)線路信息。 通訊功能 支持DeviceNet通訊及兼容數(shù)字/模擬信號(hào)的通訊方式 設(shè)計(jì)緊湊簡(jiǎn)潔 ，尺寸124毫米，設(shè)計(jì)緊湊，安裝位置不受限制。