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當前位置:首頁新聞資訊ANALYZER 第一熱研 TB-ⅡF 系列新一代微量氧分析儀上新

ANALYZER 第一熱研 TB-ⅡF 系列新一代微量氧分析儀上新

更新時間:2026-07-13點擊次數(shù):78

# 2026年新品發(fā)布會#

日期:2026年7月13日

時間:8:30-18:30

近期我司新推出升級了

ANALYZER 第一熱研 TB-ⅡF 系列新一代微量氧分析儀上新

針對半導體 CVD/PVD、真空燒結(jié)、氫能惰性保護場景,推出 TB-ⅡF 升級傳感模組,優(yōu)化氧化鋯陶瓷電解質(zhì)燒結(jié)工藝,解決微量氧雜質(zhì)干擾問題。

核心升級點

測量量程:0.1ppm~100%O?全跨度無檔位切換,原生抗氫氣、一氧化碳交叉干擾;

工況適配:可直接插入高粉塵真空腔體,內(nèi)置多級防堵過濾結(jié)構(gòu),適合長時間 24h 連續(xù)在線監(jiān)測;

落地成效:國內(nèi)多家晶圓封裝廠替換老舊進口氧分析儀后,氧化不良故障率從 0.8% 降至 0.1%,惰性氣體耗材消耗量下降 12%。

TB-ⅡF 檢測核心采用穩(wěn)定化氧化鋯固體電解質(zhì)傳感原理:

氧化鋯陶瓷在額定工作溫度下具備氧離子傳導特性,探頭內(nèi)外兩側(cè)氧分壓差轉(zhuǎn)化為對應電勢信號,控制器通過換算直接輸出 ppm / 百分比氧濃度數(shù)值;

區(qū)別于電化學傳感器存在電解液損耗、壽命短、易中毒缺陷,氧化鋯式無耗材設計,僅需定期簡易校準,適配連續(xù)在線監(jiān)測場景,是高溫、潔凈、惰性氣氛環(huán)境下的優(yōu)選測氧技術(shù)路線。

TB-ⅡF 按氣路接頭分為四大標準型號,覆蓋管路螺紋、卡套、VCR 真空密封主流工業(yè)接口,可直接對接工藝氣路無需轉(zhuǎn)接配件:

TB-ⅡF-P:Rc1/8 內(nèi)螺紋接口,高響應版本,適配 0.2~2L/min 小流量高純氣回路

TB-ⅡF-R:Rc1/4 內(nèi)螺紋接口,通用工業(yè)標配,支持 0.5~5L/min 寬流量采樣

TB-ⅡF-S:1/8 英寸楔鎖卡套接頭,適配實驗室、小型制氮設備快裝管路

TB-ⅡF-V:4VCR 超高真空密封接口,半導體腔體、真空爐專用無泄漏版本

超寬全域量程,一機覆蓋多工藝需求

從高純氮氣 1ppm 微量雜質(zhì)氧,到空氣 100% 氧濃度可連續(xù)測量,單支探頭無需更換硬件即可切換 ppm / 百分比顯示模式,一套設備可兼顧前端氣體純化監(jiān)測與后端腔體氣氛管控,減少多型號儀器采購成本。

2. 多層復合防護結(jié)構(gòu),惡劣工況長效耐用

傳感芯體外部增設多級粉塵過濾 + 耐腐合金屏蔽層,可阻擋工藝粉塵、酸性腐蝕性氣體侵入陶瓷基體,在熱處理爐煙氣、化工尾氣、等離子腔體環(huán)境下傳感器使用壽命延長至 24 個月,相較上代產(chǎn)品運維更換周期提升 30%。

3. 流量兼容性,適配無泵吸直采場景

常規(guī)氧分析儀對進氣流量嚴苛受限,TB-ⅡF 經(jīng)過流體仿真優(yōu)化氣路腔體,0.2~5L/min 大范圍流量內(nèi)測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定,可直接采用工藝管路正壓自流采樣,無需額外加裝精密流量調(diào)節(jié)閥與抽氣泵,簡化現(xiàn)場氣路搭建。

4. 模塊化分體設計,集成改造靈活便捷

傳感器探頭與顯示控制單元信號分離,探頭可伸入狹小腔體、真空設備內(nèi)部安裝,控制器面板嵌入式 DIN 標準開孔安裝于控制柜,支持 4-20mA 模擬量、RS485 Modbus 雙路信號輸出,無縫對接 DCS、PLC 上位系統(tǒng),便于產(chǎn)線數(shù)據(jù)上云與自動化聯(lián)鎖控制。

5. 極簡運維設計,降低現(xiàn)場人工成本

整機無易損耗耗材,僅需年度單點校準即可維持精度;探頭拆裝結(jié)構(gòu)標準化,無需專業(yè)工具即可快速拆卸送檢校準,老舊產(chǎn)線改造可直接替換同品牌前代 TB 系列探頭,原有控制器無需更換,項目改造成本極低。



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