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ULVAC愛發科LR1200 羅茨干式真空泵 通過在低溫范圍內平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。

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ULVAC愛發科 LR180 羅茨干式真空泵 Model：ECO-SHOCK”是一個劃時代的附件，當連接到您當前的干式真空泵時 ，它可以顯著節省干泵的能源。

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