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產品簡介
ULVAC愛發科HR60多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以氣態排出。
ULVAC愛發科HR60多級羅茨干式真空泵
ULVAC愛發科HR60多級羅茨干式真空泵
可以在氣態下排放高溫區域熱均衡
CVD 和蝕刻產生的升華廢氣排放物。
“Model：UR" 甚至可以高于 “Model：HR"。
由于安裝了密封
性密封電機，因此非常安全。
瞬時停止：在 1000 毫秒內實施瞬時停止
措施。
優異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運行狀態和警告/警報歷史記錄數據。 通過使用專用軟件和計算機通信，可以進行集中監控。
用
CVD 設備
蝕刻設備
灰化裝置
ALD、ALH 等
| 型 | HR60 | HR90 | HR300型 | HR600 型 | HR1200 型 | ||||
| 使用的泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | ||||
| 最大 抽速 | 50 赫茲 | m3/h （升/分鐘） | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60 赫茲 | m3/h （升/分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | |||
| 極限壓力 | 帕 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大入口壓力 （入口壓力） | 大氣壓力 *1 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排氣壓力） | 帕 | 1~大氣壓 | |||||||
| 進氣口 （CE 規格） | VG50（KF50） 系列 | VG80型 （KF50） | VG80（KF80） 系列 | VG100型 （KF100） | |||||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | ||||||||
| 質量 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三個階段 | 交流電（Hz） | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 當前值 | 穩態 | 一個 | 7.1 （200V 時） | 11.2 （200V 時） | 7.8 （200V 時） | 12.9 （200V 時） | 15.4 （200V 時） | ||
| 最大值 | 一個 | 7.3 （200V 時） | 11.8 （200V 時） | 8.1 （200V 時） | 13.8 （200V 時） | 18.9 （200V 時） | |||
| 冷卻水臨時壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2 吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | ||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | |||||||
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