一、操作前置說明

二、作業(yè)前期準備

1. 環(huán)境與放置檢查

   將泵體放置在水平、干燥通風臺面，機身四周預留 20cm 以上散熱空間，避開酸堿揮發(fā)、粉塵堆積區(qū)域；無塵車間內(nèi)需放置在防靜電工作臺，地面鋪設(shè)導電地墊。

2. 工具與配套物料準備

   絕緣剝線鉗、十字絕緣螺絲刀、絕緣膠帶、萬用表、3×5mm 真空軟管、L 型標準接頭、穩(wěn)壓 AC100V 電源、防靜電接地線；無塵場景配套潔凈無塵布擦拭管路與泵體接口。

3. 基礎(chǔ)外觀預檢

   目視檢查機身外殼無開裂、進出氣 HEPA 濾芯無破損、透明觀察窗無裂痕、出線電源線外皮無磨損裸露；管路接頭密封圈完整無硬化開裂。

4. 電氣安全前置要求

   操作前斷開穩(wěn)壓電源總開關(guān)，執(zhí)行掛牌上鎖流程，全程斷電開展接線作業(yè)，杜絕帶電操作觸電風險。

三、斷電狀態(tài)標準接線步驟

3.1 電源回路接線

1. 使用剝線鉗輕剝穩(wěn)壓電源輸出端線纜絕緣皮，露出銅芯長度控制在 5mm，不出現(xiàn)銅絲散絲分叉。

2. FV-30 出線共兩根動力線，無正負極區(qū)分，分別接入穩(wěn)壓電源 AC100V 輸出端子，螺絲刀均勻擰緊端子螺絲，線纜無松動、擠壓破損。

3. 線纜彎折處預留松弛余量，避免設(shè)備振動拉扯接線端子，接線點位包裹絕緣膠帶隔離裸露金屬部位。

3.2 防靜電接地接線

1. 找到機身底部金屬接地螺釘，取下螺釘，將防靜電接地線銅環(huán)墊片套入螺釘復位鎖緊。

2. 接地線另一端連接工作臺接地匯流排，使用萬用表測量接地通路，保證導通穩(wěn)定，降低氣流摩擦產(chǎn)生靜電擊穿元器件的概率。

3.3 真空管路接線

1. 進氣口安裝配套 L 型接頭，插接 3×5mm 真空軟管，軟管另一端對接真空吸筆、吸附工裝；排氣口保留通暢，不封堵、不加裝節(jié)流閥。

2. 軟管兩端插接到位，輕拉管路確認無脫落風險，管路盡量縮短長度，減少氣流壓降造成負壓衰減。

3.4 接線完成復檢

1. 復查電源端子、接地螺釘、管路接頭三處連接點位，確認全部緊固。

2. 萬用表調(diào)至交流電壓檔，空載測量穩(wěn)壓電源輸出端電壓，數(shù)值穩(wěn)定在 AC100V 區(qū)間內(nèi)，無電壓偏高、偏低情況。

四、通電開機前置全面點檢（未合閘送電）

1. 氣路濾芯檢查

   透過機身透明觀察窗查看進氣 HEPA 濾芯，濾芯無大面積積灰、無異物堵塞；濾芯倉卡扣閉合到位，無縫隙漏氣。

2. 泵腔狀態(tài)檢查

   輕晃整機，內(nèi)部無異物碰撞異響，隔膜、閥片無卡滯風險；整機無傾斜擺放，底腳貼合工作臺面。

3. 管路密封性預檢

   封堵軟管末端吸嘴，人為封閉整條真空回路，確認管路無肉眼可見縫隙、孔洞。

4. 周邊安全確認

   線纜不擠壓、不纏繞，無接觸尖銳金屬邊角；穩(wěn)壓電源周邊無紙張、無塵布等易燃物料。

五、通電試運行操作流程

1. 解除掛牌上鎖，閉合穩(wěn)壓電源總開關(guān)，設(shè)備線圈通電啟動，隔膜開始高頻往復運行。

2. 啟動后 30 秒聽覺、振動觀測

   貼近機身聆聽運行聲響，正常狀態(tài)為均勻輕微振動聲，無尖銳摩擦、撞擊異響；手部輕觸機身，振動幅度平緩，無異常抖動。

3. 負壓數(shù)值檢測

   將負壓表接在管路中間，空載運行 2 分鐘，觀察負壓逐步下降，穩(wěn)定后區(qū)間接近 - 50kPa；若負壓數(shù)值偏高，排查管路接頭密封情況。

4. 氣路通暢測試

   松開軟管末端封堵，負壓數(shù)值快速回升至常壓，代表進氣、排氣氣路通暢，單向閥開合無卡滯。

5. 異常斷電處置

   運行中出現(xiàn)異響、機身異常升溫、負壓持續(xù)不足，立即斷開總電源開關(guān)，排查接線、濾芯、管路故障后再次試機。

六、正常投產(chǎn)標準運行規(guī)范

1. 試運行無異常后，連接生產(chǎn)工裝開展元器件吸附作業(yè)，單次連續(xù)運行時長不超過 8 小時，中途可停機 10 分鐘輔助散熱。

2. 運行過程每小時簡易巡檢一次，巡檢內(nèi)容包含三項：機身表面溫度、濾芯積灰狀態(tài)、管路接頭是否漏氣。

3. 無塵作業(yè)時，避免粉塵、藥液揮發(fā)氣體長時間被吸入泵體，減少濾芯、隔膜損耗速度。

4. 禁止長時間封閉進氣口持續(xù)抽氣，容易加劇隔膜疲勞形變，縮短部件使用周期。

七、工序結(jié)束規(guī)范停機流程

1. 先取下工裝吸嘴，斷開工件密封吸附狀態(tài)，讓管路連通大氣平衡內(nèi)部負壓。

2. 保持設(shè)備空載運行 1 分鐘，排出泵腔內(nèi)部殘留粉塵、微量水汽。

3. 斷開穩(wěn)壓電源總開關(guān)，等待隔膜停止往復振動。

4. 若當日不再使用，拔掉電源輸出端子，拆除真空軟管，使用無塵布封堵泵體進出氣口，阻擋車間粉塵進入濾芯倉。

5. 松開接地螺釘收納接地線，整理電源線、真空軟管，整齊擺放避免彎折破損。

八、每日操作收尾與基礎(chǔ)保養(yǎng)

1. 無塵布擦拭機身外殼、管路外表面，清除表面浮塵，維持工位潔凈度。

2. 記錄當日運行時長、負壓穩(wěn)定狀態(tài)、濾芯積灰程度，便于預判濾芯更換節(jié)點。

3. 長期停用（超過 7 天），將設(shè)備存放于干燥防塵收納區(qū)域，管路、泵口全程封堵。

九、安全操作約束要點

1. 全程僅適配 AC100V 穩(wěn)壓電源，禁止搭配升壓、簡易調(diào)壓裝置，電壓波動幅度過大會損傷電磁線圈。

2. 接線、拆機維護必須斷電操作，帶電插拔線纜會造成端子打火，損壞電路組件。

3. 排氣口不可對準晶圓、光學鏡片等工件，排氣氣流攜帶微量隔膜磨損微粒，可能造成產(chǎn)品表面瑕疵。

4. 出現(xiàn)機身發(fā)燙、異響、負壓持續(xù)衰減等情況，立刻停機斷電，不持續(xù)帶故障運行。