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ULVAC愛發科 UR600 多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態排出。

ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 HR1200 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態排出。

ULVAC愛發科HR300 多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態排出。

ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 HR90 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態排出。

ULVAC愛發科HR60多級羅茨干式真空泵 通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以 氣態排出。

ULVAC愛發科螺桿式干式真空泵 LS1200A-L “Model：LS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 過去，提高抽速需要消耗大量功率，但通過將專有的螺桿形狀與節能技術相結合，這款干式真空泵實現了高速排氣和低功耗。 有四種型號的陣容，您可以根據設備的大小、使用條件和用途選擇具有優良泵送能力的泵。